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ICPは、高周波誘導結合プラズマ（Inductively Coupled Plasma）を意味しています。

また、アルゴンガスは不活性なので酸化物や窒化物が生成しにくいことで化学反応を起こしにくくしています。
発光したスペクトル（光の波長）から元素を分類して定性し、光の発光強度から元素の濃度を求めます。

CP発光分光分析装置は、試料導入部、発光部（プラズマ励起源）、分光測光部（分光部と検出器）、信号処理部（制御と演算）で構成されています。

試料導入部は、原子吸光と同様に噴霧器（ネブライザー）によって吸い込ませた試料を霧状にしてチャンバー内に噴霧し、霧状の試料は選別された後、プラズマに導入されます。
その他、水銀やヒ素、ビスマス、アンチモン、セレンなどを分析する際に利用される、還元剤を試料溶液に添加して水素化物や金属蒸気を生成させて、チャンバー内で液体と気体を分離してプラズマにガスだけを導入する「水素化物発生法」や還元気化法があります。

ICP発光分光分析装置では、石英で出来た３重の管構造のトーチの外側にあるコイルに高周波を流してトーチ部に電界を発生させ、そこにアルゴンガスを流し放電させることによってプラズマを生成させています。

キャリアガスは、３重石英トーチの中心を流れるガスで、ネブライザーが噴霧したエアロゾルをプラズマ内に導入させる役割があります。
このガスの流量は、プラズマの安定性や装置感度、再現性などの分析精度に影響するため、最適な条件設定が必要になります。

プラズマ内に導入されたエアロゾルは、脱溶媒、解離、原子化またはイオン化され、アルゴンプラズマから得たエネルギーで基底状態から励起状態に変化します。
励起状態は、不安定なので瞬時にスペクトル発光して基底状態へ遷移してしまいます。

また、検出器には、光電子増倍管または半導体検出器が使用されています。
光電子増倍管は、光電効果によってスペクトルを電気信号に変換して増幅することで高感度な検出が可能です。
半導体検出器は、個体素子（Si）内で、入射光子から電子が発生することを利用して、その電子の電荷量を検出します。
発光分析法は相対分析法のため、含有率が既知の試料（検量線試料）とスペクトル強度を比較して未知試料の含有率を算出します。通常は、複数の検量線試料によって検量線を作成します。

物理干渉とは、試料の粘性、表面張力、密度などの物理的要素によってプラズマへの導入効率が変化してしまう現象をいいます。
要は、例えば、粘性があると導入量が下がり、発光強度が低下することで分析値が低くなってしまうと言うことです。
物理干渉を軽減するためにはマトリックスマッチング法が有効で、検量線作成用の標準液と試料の液性が一致するように、酸の種類、濃度、マトリックス成分濃度を一致させます。
また、内部標準法は、内部標準物質を測定元素と同時にモニターすることで、物理干渉の影響を補正する方法です。

化学干渉とは、プラズマ内の試料が脱溶媒から原子化までの過程で、難解離性化合物を形成してしまうことで、解離が出来なくなり、原子化効率が変化してしまうことを言います。
ICP発光分光分析では、プラズマ温度が高いので化学干渉の影響は小さいと言えます。

イオン干渉とは、試料中にアルカリ金属などイオン化されやすい金属が多く含まれるとき、プラズマ内の原子密度とイオン密度のバランス（イオン化平衡）が崩れることを言います。
イオン干渉を軽減するためには、物理干渉と同様にマトリックスマッチング法が有効です。
内部標準法では、測定波長の励起エネルギーに近い内部標準元素を使って補正することができます。

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